Nano Care2光學3D表面輪廓儀

Nano Care2光學3D表面輪廓儀

高穩定測量:非接觸測量; 

高精度測量:分辨率0.4um;

大面積測量:自動縫合技術;

獨有的特殊光源模式;

測量參數涵蓋面廣;

軟件功能完備;

適用范圍寬;

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Nano care 2 白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。


主要優勢

        ?  高穩定性測量:采用光學干涉技術非接觸、高穩定、高速測量; 

        ?  高精度測量:光學分辨率可達0.4um;

        ?  大面積測量:自動縫合技術實現大面積高精度測量;

        ?  獨有的特殊光源模式:可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量

        ?  測量參數涵蓋面廣:對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析;

        ?  軟件功能完備:一體化操作的測量與分析軟件,自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等;

        ?  適用范圍寬:可測量多種類型樣品的表面微細結構;

        ?  性價比優良:真正意義的免維護及優良的性能價格比。

主要應用

        對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

        ? 光學器件表面、光學加工

        ? 半導體制造及封裝工藝檢測           

        ? MEMS器件等超精密加工行業

        ? 3C電子玻璃屏及其精密配件

        ? 微納材料及制造

        ? 科研院所

        ? 測量各類從超光滑到粗糙、從低反射率到高反射率的物體表面、從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作

          為評價標準。


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樣品測試報告

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性能參數表

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光學規格表

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